靜電卡盤_靜電應用

靜電卡盤

靜電卡盤是一種適用于真空環境或等離子體環境的超潔凈晶圓片承載體，它利用靜電吸附原理進行超薄晶圓片的平整均勻夾持。該產品廣泛應用于 PVD、PECVD、ETCH、EUVL、離子注入等高端半導體制造裝備。