輝光放電

高穩定性、高精度、控制多樣化、起弧響應速度快

“輝光放電”是一種特定的放電現象。當氣體中施加足夠的電壓時，會出現氣體放電，形成具有輝光特征的光輝。該原理廣泛應用于多種工業設備，例如刻蝕機、氦氖激光器、醫用加速器、PVD真空鍍膜機以及磁控濺射鍍膜機等。輝光放電在半導體生產、污水處理、滅菌消毒、聚合物材料表面改性及分析儀器的離子源等領域具有重要的應用價值。